課程名稱 |
微機電系統 Microelectronic Mechanical System |
開課學期 |
101-2 |
授課對象 |
電機資訊學院 電機工程學研究所 |
授課教師 |
孟憲鈺 |
課號 |
EE5154 |
課程識別碼 |
921 U9990 |
班次 |
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學分 |
3 |
全/半年 |
半年 |
必/選修 |
選修 |
上課時間 |
星期二2,3,4(9:10~12:10) |
上課地點 |
博理103 |
備註 |
總人數上限:25人 |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
本課程尚未建立核心能力關連 |
課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
.微機電系統(MEMS)技術是整合微電子及微機系之技術,含以矽晶為基礎的體及面微機械,X光及雷射的微影術(LIGA),以製造感測器,致動器及微系統產品,本課程如下:
1. 引言 (基本觀念及材料,發展趨勢)
2. 矽為基礎的微機械製作
3. LIGA 及A-LIGA技術
4. 包裝、測試及組件(PAT: packaging, assembly, and testing)
5. MEMS之應用
6. 從MEMS 到NEMS
7. 市場及技術發展前瞻
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課程目標 |
微機電系統(MEMS)技術是整合微電子及微機系之技術,含以矽晶為基礎的體及面微機械,X光及雷射的微影術(LIGA),以製造感測器,致動器及微系統產品,本課程如下:
1. 引言 (基本觀念及材料,發展趨勢)
2. 矽為基礎的微機械製作
3. LIGA 及A-LIGA技術
4. 包裝、測試及組件(PAT: packaging, assembly, and testing)
5. MEMS之應用
6. 從MEMS 到NEMS
7. 市場及技術發展前瞻
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課程要求 |
成績評量採用term paper及口試 |
預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
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參考書目 |
教科書: 1. 講義 2. 孟憲鈺著”微機電系統技術”
參考書:
1. MarC J. Madou, “Fundamental s of Microfabrication”, CRC Press(2002)
2. Mohamed Gad0el-Hak, “the MEMS Handbook”, CRC Press (2002) |
評量方式 (僅供參考) |
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